In de cijfers van Gartner is het marktaandeel van ASML het afgelopen jaar onveranderd gebleven op 65,0 procent. Op basis van eigen berekeningen komt de Veldhovense machinebouwer iets hoger uit (67 %) en steeg zijn marktaandeel licht. Canon lijkt op zijn laatste benen te lopen. In termen van eenheden hadden de Japanners in 2008 een marktaandeel van 28 procent en nog slechts 9 procent in 2009. Canon heeft geen concurrerende immersiemachine, de technologie die in 2009 definitief het stokje overnam van waterloze 193-nanometerlithografie.
| Bedrijf | Omzet 2008 | Omzet 2009 | Verandering (%) | Marktaandeel 2009 (%) |
|---|---|---|---|---|
| ASML | 3523 | 1617 | -54,1 | 65,0 |
| Nikon | 1255 | 777 | -38,1 | 31,3 |
| Canon | 608 | 89,3 | -85,3 | 3,6 |


