Nieuws

Alquin Stevens laat licht schijnen op silicium

Marianne Vincken
Reading time: 4 minutes

Naarmate de details op chips kleiner worden, spelen de finesses van IC-productieprocessen een grotere rol. Door met optische methodes het etsproces van silicium nauwkeurig te volgen, krijgt de Eindhovense promovendus Alquin Stevens meer grip op de parameters die de afmetingen en oppervlakteruwheid van de structuren in het silicium bepalen.