ASML-dochter Brion, specialist in computationele lithografie, heeft de spectrale karakteristieken van Cymers lasers in zijn computermodellen verwerkt. Deze worden zodoende nauwkeuriger, waardoor chipmakers belangrijke nanometers winst boeken in hun procescontrole. De stabilisatie en tuning van de laserbandbreedte vindt halverwege dit jaar doorgang in Brions software voor optische nabijheidscorrectie.
Het Amerikaanse Brion Technologies maakt computersimulaties om de productie van chips te testen en optimaliseren. Met de lithografische computermodellen van de toolleverancier kunnen chipfabrikanten het afbeeldingsproces voor de productie simuleren. Door in een model de relatie te leggen tussen de fotomaskers en de gerealiseerde IC‘s kunnen ze het maskerpatroon optimaliseren en zodoende de opbrengst zo groot mogelijk maken. ASML kan met Brions gereedschapskist lithografische resultaten voorspellen en zodoende zijn scanners beter afstellen.
This article is exclusively available to premium members of Bits&Chips. Already a premium member? Please log in. Not yet a premium member? Become one for just €20 for the first year and enjoy all the benefits.