De Mems-waferfab Inex van de universiteit van Newcastle heeft zijn fabricagecapaciteit voor 4 inch plakken uitgebreid naar 6 inch-apparatuur (150 mm). De cleanroom kreeg er 400 vierkante meter bij, waarmee het totaal komt op 1000 vierkante meter. De capaciteit van Inex is nu vijfduizend wafers per jaar voor de ontwikkeling, prototyping en fabricage van dunnefilmsensoren, Mems- en microsysteemproducten.
This article is exclusively available to premium members of Bits&Chips. Already a premium member? Please log in. Not yet a premium member? Become one for just €20 for the first year and enjoy all the benefits.