Cymer maakt EUV-lichtbron van 25 watt

De Amerikaanse ’lampenmaker‘ Cymer heeft een EUV-lichtbron gemaakt die anderhalf uur lang een gemiddeld vermogen levert van 25 watt. Dat heeft het bedrijf afgelopen week verteld op een workshop van chip-R&D-centrum Sematech. Volgens COO Ed Brown is deze prestatie een flinke stap in de goede richting om EUV-productiemachines in 2009 van voldoende licht te voorzien. Hij acht daartoe een vermogen van 100 watt noodzakelijk.

Cymer concurreert met Philips Extreme UV, dat samenwerkt met XTreme Technologies. Begin dit jaar repte deze combo van EUV-lichtbronnen met een continu vermogen van maar liefst 500 watt, al betrof dat proof-of-principle-experimenten. Algemeen directeur Marc Corthout van Philips Extreme UV noemde toen 180 watt als streefwaarde voor productiewaardige EUV-lichtbronnen.