Nieuws

Euv-lithografie stapt industrialisatiefase in

Reading time: 4 minutes

Euv-chipproductie is een feit, maar moet nu worden opgeschaald. Hoe gaat ASML ervoor zorgen dat zijn klanten net zo veel chips kunnen maken als zij willen?

Er klonken geruststellende woorden op ASML’s Investor Day, begin november in Veldhoven. De wet van Moore heeft nog minstens tien jaar tot zijn pensioen, de meest geavanceerde chips blijven betaalbaar en een keur van oude en nieuwe toepassingen staan te trappelen om de extra rekenkracht te benutten. Kortom: nog een decennium business as usual voor de halfgeleiderindustrie.

Met deze boodschap zet ASML definitief een punt achter een periode van knagende onzekerheid. Tien jaar geleden bereikten chipstructuren de resolutielimiet van standaard immersielithografie, maar beoogd opvolger euv was nog lang niet gereed voor de fab. Dankzij multipatterning konden nog nieuwe krimpslagen worden gemaakt, maar de houdbaarheid van deze oplossing was beperkt: de kosten zouden de pan uit rijzen door het snel toenemende aantal belichtingsstappen.

This article is exclusively available to premium members of Bits&Chips. Already a premium member? Please log in. Not yet a premium member? Become one for just €20 for the first year and enjoy all the benefits.

Login

Related content