Het cruciale experiment is uitgevoerd: ASML en Cymer weten nu zo goed als zeker dat zij de EUV-bron kunnen leveren die zij hun klanten hebben beloofd.
’Ik mag eindelijk groen gebruiken van de communicatieafdeling‘, grapt ASML-CEO Eric Meurice als hij tijdens de presentatie van de jaarcijfers de slide over EUV-lithografie bereikt. In een groen font valt daarop te lezen dat ASML en bijna-dochter Cymer een bronvermogen van veertig watt onder productiecondities hebben gerealiseerd en zestig watt in het lab. ’Dit soort cijfers geven ons het vertrouwen dat we de afspraak met onze klanten kunnen nakomen‘, zegt Meurice.
This article is exclusively available to premium members of Bits&Chips. Already a premium member? Please log in. Not yet a premium member? Become one for just €20 for the first year and enjoy all the benefits.
