FEI heeft de eerste Titan 80-300-elektronenmicroscoop geplaatst bij het Franse onderzoekscentrum Leti. Met een resolutie van minder dan 0,1 nanometer ziet het apparaat details op atomaire schaal. De Franse researchers kunnen er halfgeleiders mee analyseren en karakteriseren. Leti gaat de Titan verder gebruiken in zijn Ultraview-ontwikkelprogramma om zeer nauwkeurige plaatjes te maken van wafersamples. De scanning/transmissie-elektronenmicroscoop (S/Tem) komt in Leti‘s nieuwe Minatec-lab.
This article is exclusively available to premium members of Bits&Chips. Already a premium member? Please log in. Not yet a premium member? Become one for just €20 for the first year and enjoy all the benefits.
