De Titan 80-300-transmissie-elektronenmicroscoop (TEM) is klaar voor levering. De eerste exemplaren gaan naar onderzoekslabs, maar fabrikant FEI hoopt het apparaat over enkele jaren aan te kunnen passen en te verkopen voor productieomgevingen van onder meer (geheugen)chips. Voor deze toepassing moet de bediening van het apparaat wel drastisch eenvoudiger en robuuster worden. Op dit moment werken ze in Acht hard aan software die dit mogelijk maakt.
De Titan behoort tot de nieuwe generatie van elektronenmicroscopen die kleiner dan één ångström (een tiende nanometer) kunnen kijken. Deze hoge resolutie maakt het apparaat van FEI geschikt voor chipfabricage, waar steeds kleinere structuren op de halfgeleiders worden geëtst. De TEM is vergaand te automatiseren, wat de standaardisatie en de reproduceerbaarheid ten goede komt.
Met de nieuwe software kunnen researchers en operators de gebruikersinterface aanpassen aan hun eisen. Academici zullen nog steeds in staat zijn om het uiterste uit hun apparaten te persen, maar voor operators in een productieomgeving zal het gebruik eenvoudiger zijn. FEI rolt de programmatuur de komende jaren stapsgewijs uit.
This article is exclusively available to premium members of Bits&Chips. Already a premium member? Please log in. Not yet a premium member? Become one for just €20 for the first year and enjoy all the benefits.
