Imec bouwt elf miljoen spiegeltjes uit CMos

Op de IEEE International Electron Devices Meeting heeft Imec een monolitische CMos-array met elf miljoen microspiegeltjes gepresenteerd van 10 vierkante centimeter. Volgens het researchcentrum is het niet eerder gelukt om zo veel spiegeltjes met hoge betrouwbaarheid op zo‘n klein oppervlak te proppen. Elk spiegeltje meet 8 bij 8 micrometer en is individueel te kantelen. Het benodigde circuit om ze aan te sturen, is geïntegreerd in de array.

De hele spiegel-array is gebouwd op een enkele 200 mm wafer in een 0,18 micrometer-proces met zes interconnectniveau‘s. De spiegeltjes zelf zijn van poly-SiGe, wat de mechanische duurzaamheid ten goede komt. Volgens Imec is de array vooral geschikt voor high-end industriële toepassingen, zoals projectoren of maskerloze lithografie.