Na 35 jaar in de micro-elektronica ben ik nog steeds verbaasd dat we de wet van Moore sinds 1965 hebben volgehouden. Planning in de vorm van roadmaps heeft daar beslist aan bijgedragen, maar dat neemt niet weg dat er vele onverwachte uitvindingen zijn gedaan die chipschaling ten goede zijn gekomen. Dit waren de materialen, structuren en processen die drempels wegnamen of vooruitgang versnelden.
Aan deze micro-elektronicawonderen willen we zes artikelen wijden in de nieuwsbrief van de IEEE Electron Devices Society vanaf oktober 2018 tot en met oktober 2019. Hier alvast een voorproefje.
De ontdekking van aluminium-koper valt in de categorie onverwachte ontdekkingen en gaat terug op IBM-onderzoeker François d’Heurle in 1969. Elektromigratie van ionen in aluminium interconnects was sinds de eerste generatie silicium chips bekend en er werd veel onderzoek gedaan om dit effect te temmen.
