Tom Oomen, nieuw talent voor nieuwe chipgeneratie

Bij de jaarlijkse Jong Talent prijzen van de Koninklijke Hollandsche Maatschappij de Wetenschappen kreeg Tom Oomen de Corusprijs voor zijn afstudeerscriptie ’Optimal digital control of high-precision electromechanical servo systems‘. Bij de afdeling Mechatronics van Philips Applied Technologies onderzocht hij methoden om de positioneernauwkeurigheid van waferscanners te verbeteren. Wie is Tom Oomen en waarom moeten wij hem kennen?

Wat hield je afstudeerproject precies in?

’Het positioneren van de wafers voor de productie van chips moet steeds nauwkeuriger gebeuren naarmate circuits kleiner worden. Op het moment van belichten moet de plak stilliggen. Daarbij komt het op enkele nanometers aan. De computer die de wafer stage aanstuurt gebruikt een analoog-digitaal convertor met een bemonsterinterval van ongeveer 0,2 milliseconde. Tussen deze meetpunten is de exacte positie van de wafer niet bekend, waardoor deze computer de beweging als een stroboscoop ziet. Mijn afstudeeropdracht draaide om het beheersen van de positioneernauwkeurigheid tussen deze meetmomenten. We hebben een aantal ontwerpmethoden voorgesteld waarbij we rekening houden met deze positie. Hiervoor gebruikten we een wiskundig model dat beschrijft hoe het systeem zich tussen de meetmomenten gedraagt. Dit model verwerkten we vervolgens in de ontwerpstap van het regelalgoritme. Met experimenten heb ik aangetoond dat deze methoden de nauwkeurigheid aanzienlijk verbeteren.‘