Update: Cornell pakt toch niet resonatorrecord NXP af

Onderzoekers van Cornell University (CU) hebben een silicium Mems-resonator ontwikkeld die trilt bij een frequentie van 4,51 gigahertz. Dat is fors meer dan het ontwerp van NXP‘s piëzoresistieve resonator die tot voor kort het record in handen had (zie Bits&Chips 1, 2008). Wel is de nieuwe Amerikaanse recordhouder minder precies. Dat blijkt uit de Q-factor, de breedte van de golf op halve hoogte gedeeld door de centrumfrequentie. Bij Cornells versie ligt die rond de 10 duizend, terwijl NXP met zijn design wel 100 duizend haalt.

Mems-resonatoren staan in de belangstelling als vervanging van mechanische kwartsoscillatoren. Deze elektronische klokken zijn namelijk niet te integreren in een CMos-proces. Daarnaast kunnen Mems-varianten een stuk kleiner gemaakt worden dan kwartsklokken.

NXP Research presenteerde zijn Mems-resonator op de International Electron Devices Meeting in december vorig jaar. Deze zette toen het record op 1,1 gigahertz. En passant toonde NXP daarbij een nieuwe methode om de beweging van de Mems te volgen. De Eindhovense onderzoekers gebruiken de piëzoresistieve eigenschappen van silicium, waarbij de weerstand van het metaal afhangt van zijn mechanische toestand.