Machinebouwer Canon heeft een EUV-machine gemaakt, zo bleek op de SPIE Advanced Lithografie-conferentie in San José. De tool is bedoeld voor R&D en niet voor productie. De aankondiging komt als een verrassing omdat Canon tot nu toe weinig ruchtbaarheid gaf aan zijn EUV-activiteiten. De Japanners zijn deelnemer van EUVA, een Japans consortium voor de ontwikkeling van EUV-lithografie. Senior fellow lithografiestrategie Phil Ware van Canon liet zich in Bits&Chips op persoonlijke titel zelfs zeer negatief uit over de slaagkansen van de technologie.
Naar verwachting gaat de machine later dit jaar de deur uit. Nikon heeft ook een EUV-alfatool gereed. Begin februari werd bekend dat de levering daarvan aan Intel is uitgesteld.
This article is exclusively available to premium members of Bits&Chips. Already a premium member? Please log in. Not yet a premium member? Become one for just €20 for the first year and enjoy all the benefits.
