Vorige week hebben ASMI, Holst Centre en Miplaza een machine voor atoomlaagdepositie (ALD) onthuld in de cleanroom van Miplaza. De komende drie jaar gaat Holst Centre de tool gebruiken om te onderzoeken of de depositietechniek toegepast kan worden in zeer energiezuinige sensoren en andere Mems-applicaties, een domein waarin ALD nog vrijwel geen rol speelt. In een later stadium zullen ook onderdelen van het systemen-in-folieprogramma gaan kijken naar gebruiksmogelijkheden.
ASMI probeert met het initiatief ALD te laten doorstromen naar toepassingen buiten de chipfabricage. Tot nu toe deed de Almeerse machinebouwer dat vooral met strategische licentieovereenkomsten, bijvoorbeeld met Oxford Instruments. ASMI is al jaren partner van Imec, een van Holst Centres moederbedrijven.
Ook Miplaza en Holst Centre werken al lange tijd samen. Miplaza is meer bij het project betrokken dan alleen de levering van de cleanroomruimte. Het bedrijf, dat de researchinfrastructuur van Philips Research op de High Tech Campus ter beschikking stelt aan derden, wil het apparaat uiteindelijk opnemen in zijn bestaande arsenaal depositietechnieken. In de periode dat vooral Holst Centre met de tool werkt, loopt er daarom een procesengineer mee om de machine onder de knie te krijgen.
This article is exclusively available to premium members of Bits&Chips. Already a premium member? Please log in. Not yet a premium member? Become one for just €20 for the first year and enjoy all the benefits.
