ASMI levert aan Koreaanse DRam-fabrikant

ASM International heeft een Levitor 4300 Rapid Thermal Processing-systeem geleverd aan een Koreaanse DRam-producent. De Bilthovenaren hebben geen bedrijfsnaam bekendgemaakt. De Koreanen gaan de machine gebruiken voor het warm uitharden van verbindingen en het koud uitharden van contacten op 300 mm wafers.

’De bestelling toont de voordelen van de Levitor bij zowel hoge als lage temperaturen‘, zegt Jaap Beiersbergen, ASM‘s businessunitmanager van de Levitor. ’Deze eigenschap maakt de machine steeds interessanter omdat de industrie naar lagere temperaturen moet overschakelen voor de nieuwste technologiegeneraties.‘

De Levitor-machine werkt met een technologie op basis van geleidende verhitting. Volgens ASM steekt de tool daarom goed af bij de concurrentie. Zowel op procesperformance, flexibiliteit, gebruikskosten en uitbreidbaarheid scoort het apparaat goed, aldus de Bilthovense machinebouwer. In de Levitor zweeft de wafer op een dun laagje gas tussen twee massieve blokken. Deze configuratie maakt het mogelijk om de plak razendsnel te verhitten en zonder support op de gewenste temperatuur te houden. De nauwkeurige verwarming is volledig onafhankelijk van het type film op de wafer.