‘ASML en Nikon verdelen 22-nm-business bij Intel’

Intel gaat zowel ASML- als Nikon-immersiescanners gebruiken voor de productie van 22-nanometerchips, meldt EE Times op basis van een rapport uitgebracht door  Arete Research. De Amerikaanse chipreus gebruikt voor de zojuist geïntroduceerde 32-nanometergeneratie uitsluitend Nikon-immersiemachines.

Volgens de marktonderzoeker heeft ASML Intels front end of the line-business voor zich gewonnen, waar het halen van stringente overlay-requirements (minder dan 3 nm) de doorslag gegeven zou hebben. De Veldhovenaren krijgen binnen enkele maanden uitsluitsel of ze 18 tools mogen leveren, vermoedelijk grotendeels in 2011. Nikon zou kunnen rekenen op een order voor 25 machines.