Fei en Nanonics willen AFM integreren in elektronenmicroscoop

Fei gaat een samenwerking aan met het Israëlische Nanonics Imaging om te onderzoeken of het mogelijk is een atoomkrachtmicroscoop (AFM) te integreren in een Dualbeam-microscoop. De Dualbeams van Fei combineren een transmissie-elektronenmicroscoop met een focussed ion beam en halen de nanoschaal. AFM‘s gebruiken een mechanische probe om een oppervlak op nanoschaal af te tasten of te manipuleren.

Het Israëlische Nanonics levert apparatuur voor nano-inspectie van materialen. Daarvoor gebruikt het een combinatie van AFM en een variant van optische microscopie die een resolutie kleiner dan de golflengte van het licht haalt (near-field scanning optical microscopy ofwel NSom). Voor deze integratie heeft het de AFM-techniek al op diverse punten aangepast, wat het inbouwen in een elektronenmicroscoop ook mogelijk moet maken.