Gigaphoton onthult 10 watt EUV-bron

Gigaphoton heeft een EUV-lichtbron ontwikkeld met gemiddeld vermogen van tien watt en een piekvermogen van twintig watt. Dat is van hetzelfde niveau als Cymers preproductiebronnen, die sinds vorig jaar in het veld opereren. Gigaphoton hanteert hetzelfde principe – laser-produced plasma of LPP – om EUV-licht te genereren als ASML-dochter Cymer. ’Het feit dat onze lichtbron nu in staat is de preproductie-output te evenaren, toont aan dat onze visie om stabiele lichtbronnen met een hoog vermogen en lage kosten te ontwikkelen haalbaar is‘, zegt Hitoshi Tomaru, president en CEO van Gigaphoton.

Cymer heeft in januari melding gemaakt van een veertig watt lichtbron. Recente vorderingen van de derde speler XTreme Technologies, dat zijn geld op laser-assisted discharge plasma (LDP) zet, zijn nog niet openbaar. Het bedrijf houdt net als zijn beide concurrenten een presentatie volgende week op de SPIE Advanced Lithography-conference in San José.