Nieuwe Nederlandse ic-toeleverancier staat op in Delft

In de cleanroom van het Delftse Else Kooi Lab laat Jiaqi Tang zien hoe hij een chip kan ontdoen van zijn omhulling. Als hij het chipje, amper groter dan een speldenknop, voorzichtig heeft vastgeklemd, klikt hij de samplehouder in de manshoge machine die zijn bedrijf Jiaco Instruments de afgelopen twee jaar heeft ontwikkeld. De samplehouder beweegt naar de uitgangspositie, waar een camera inzoomt op het ic. Het oppervlak is al voorbehandeld, wijst Tang: met laserablatie is een deel van de kenmerkende zwarte omhulling verwijderd. Nu is de truc om ook de rest weg te halen, zonder de geïntegreerde elektronica eronder te beschadigen.

Tang heeft daartoe een speciaal proces uitgedokterd. Met een plasma ‘brandt’ hij eerst het epoxypolymeer weg waaruit de omhulling voor circa tien procent bestaat. Daarna trilt hij de overgebleven silica filler eraf in een ultrasoonbad. De machine voert de twee stappen automatisch achter elkaar uit: eerst glijdt onttrokken aan het zicht een ‘steekvlam’ van plasma over de chip, daarna draait de samplehouder honderdtachtig graden om zijn as en wordt de chip ondergedompeld in het ultrasoonbad. Als de chip is drooggeblazen met perslucht, keert de samplehouder terug naar de uitgangspositie.