Philips en XTreme krikken vermogen EUV-bron op

Het samenwerkingsverband tussen Philips Extreme UV en XTreme Technologies claimt in een proof of principle-experiment een EUV-lichtbron van 500 watt te hebben gemaakt. Dat is een recordsterkte en ruim meer dan nodig voor de massaproductie van chips. Welk vermogen precies gewenst is, is niet helemaal duidelijk, maar 100 watt lijkt wel het absolute minimum te zijn. Marc Corthout van Philips Extreme UV houdt het op 180 watt als streefwaarde.

Het vermogen van de lichtbron is het kritieke punt voor de ontwikkeling van EUV en een van de redenen waarom de technologie niet op tijd is voor de introductie van 32-nanometerchips. Daarnaast vormen de fotolak en de maskers een obstakel. Menig insider erkent dat EUV er nog een flinke kluif aan heeft om in te stappen op het 22 nm-knooppunt. Desalniettemin houden ASML, Canon en Nikon voet bij stuk, daarin breed gesteund door chipmakers. Een duidelijk alternatief heeft zich nog niet aangediend.