Marc Corthout heeft de leiding van EUV-bronontwikkelaar XTreme Technologies ’in goed overleg‘ overgedragen aan Tatsushi Igarashi, afkomstig van XTremes Japanse moederbedrijf Ushio. Volgens Corthout lagen pragmatische financiële overwegingen ten grondslag aan de managementsreductie. Hij blijft voorlopig op consultancybasis in dienst van XTreme.
XTreme is verwikkeld in een hightechrace met Cymer om de eerste EUV-lichtbron op de markt te brengen die sterk genoeg is voor productiedoeleinden. Daarvoor is een minimale doorvoer nodig van zeventig wafers per uur. ASML-topman Eric Meurice zei deze zomer dat alle lichten op groen staan om dat aantal in 2014 te realiseren, zonder daarbij een bronontwikkelaar te specificeren. XTreme blijft nauw samenwerken met ASML, benadrukte Corthout.
Een technische update over de laatste stand van zaken valt te verwachten op het 2012 International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography, 30 september tot 4 oktober in Brussel.
This article is exclusively available to premium members of Bits&Chips. Already a premium member? Please log in. Not yet a premium member? Become one for just €20 for the first year and enjoy all the benefits.
