Mapper krijgt van de Europese Unie ongeveer 3,5 miljoen euro subsidie om zijn lithografische machine met parallelle elektronenbundels door te ontwikkelen. De donatie is in het kader van Magic, een programma voor maskerloze litho dat eerder deze week werd aangekondigd op de SPIE Advanced Lithography-conferentie in San José. Het totale budget van dit programma is ongeveer 12 miljoen euro. De deelnemers richten zich in eerste instantie op prototyping en nichemarkten met lage oplages en nog niet op IC-massaproductie.
This article is exclusively available to premium members of Bits&Chips. Already a premium member? Please log in. Not yet a premium member? Become one for just €20 for the first year and enjoy all the benefits.
