450 millimeter plakken ingang voor nano-imprint?

Een niet bij naam genoemde halfgeleiderfabrikant heeft bij het Amerikaanse Molecular Imprints een nano-imprintsysteem voor 450 millimeter wafers besteld. De chipproducent zal de plakken ter beschikking stellen aan het Global 450 Consortium, een recent aangekondigd initiatief van vijf grote IC-makers om de ontwikkeling van 450 millimeter op de rails te zetten. Molecular Imprints heeft geen contract met G450C zelf, maar zijn opdrachtgever maakt er wel onderdeel van uit, bevestigt het bedrijf op de website SemiMD.

Behalve op een zekere haast met 450-millimetertechnologie kan de tweede order dus ook wijzen op een poging van halfgeleiderfabrikanten om de nieren te proeven van nano-imprintlithografie. Het was al aangekondigd dat G450C, bij gebrek aan een optische 450-millimetertool, zou beginnen met een imprintmachine. Die zou, opnieuw volgens SemiMD, zijn besteld bij EV Group. Voor zover bekend is de ’stempeltechniek‘ echter nog niet klaar voor het grote werk. Op Bits&Chips 2011 Embedded Systemen afgelopen vrijdag zei ASML-topman Eric Meurice dat zijn onderzoekers nano-imprintlitho ongeschikt hebben bevonden voor IC-massaproductie.

Op dezelfde conferentie zei Meurice dat de transitie naar 450-millimetertechnologie wat hem betreft in 2018 plaats moet vinden. Dat is een paar jaar later dan de G450C-leden officieel voor ogen hebben, maar dat kan ook een drukmiddel zijn. In ieder geval is lithografie de meest complexe schakel in het chipfabricageproces, dus in die zin is G450C aan marktleider ASML overgeleverd – tenzij de imprinters een grote doorbraak hebben stilgehouden natuurlijk.