Nano-imprinten op de rol

Onderzoekers van de University of Michigan hebben een roll-to-roll-variant ontwikkeld van nano-imprintlithografie (NIL). Hierin is de mal bevestigd op een cilinder, die al draaiend een patroon afdrukt in een hars die onder de rol door beweegt. De techniek zou geschikt zijn om nanogepatroneerde films voor onder meer displays en zonnecellen te maken.

In haar standaarduitvoering werkt NIL door een stempel van enkele vierkante centimeters op een oppervlak te drukken. Voor grote oppervlakken is dat niet praktisch, omdat de stempel voortdurend verplaatst moet worden. Daarom ontwikkelde Jay Guo van de University of Michigan een volcontinu proces, waarover hij publiceerde in het wetenschappelijk tijdschrift ACS Nano.

De Amerikaanse nanodrukpers bewerkt ongeveer een meter per minuut op een rol van een dikke vijftien centimeter breed. ’Dit werk is een belangrijke industriële vooruitgang, die het toepassingsgebied van NIL zou moeten verbreden‘, aldus NIL-pionier Stephen Chou van Princeton University. De machine van Guo kan structuren aanbrengen van 50 nanometer, maar voor IC‘s is de resolutie niet goed genoeg.