ASML uit maskerloze optische litho

De licentieovereenkomst die regelde dat ASML de optische maskerloze lithografietechnologie van Micronic Laser Systems mocht vermarkten in halfgeleidertoepassingen, is beëindigd. De Zweden mogen wel ASML‘s ontwikkelwerk aan de spatial light modulator en data path-technologie blijven gebruiken. Micronic betaalt 13 miljoen euro terug aan de Veldhovense machinebouwer. De uit 2004 daterende overeenkomst voorzag in bedrag van twintig miljoen euro, dat ASML vooruit heeft betaald.