ASM heeft Hitachi Kokusai Electric toegang gegeven tot zijn patentenportfolio rondom atoomlaagdepositie (ALD). Het Japanse bedrijf mag gebruikmaken van de Bilthovense kennis over batch-ALD-processen. Deze maken het mogelijk om de depositietechnologie toe te passen in verticale ovens en om meerdere wafers tegelijk te verwerken. Hitachi Kokusai uit Tokio ontwikkelt systemen voor draadloze communicatie, broadcasting en video, en halfgeleiderproductie. Financiële details zijn niet bekendgemaakt.
’ASM zet al jaren in op innovatie in ALD‘, aldus Albert Hasper, algemeen manager van ASM Europa. ’Het is goed om te zien dat Hitachi Kokusai de waarde van dit IP-portfolio erkent. We denken dat het in het belang is van de halfgeleiderindustrie om licenties te verstrekken en samen met ons te zorgen voor kostenefficiënte ALD-processen.‘
This article is exclusively available to premium members of Bits&Chips. Already a premium member? Please log in. Not yet a premium member? Become one for just €20 for the first year and enjoy all the benefits.
