Op instigatie van Intel heeft Nikon de levering uitgesteld van een EUV-machine voor R&D-doeleinden. Dat meldt althans EE Times, die zich baseert op ongespecificeerde bronnen. Intel wil niet ingaan op ’geruchten‘, terwijl Nikon benadrukt dat het de tool alsnog wil verschepen op een later tijdstip.
Nikon zou volgens EE Times de alfamachine eigenlijk al eind 2007 geleverd moeten hebben. Dat is niet gebeurd, omdat de Japanners hem op zijn hoofdkwartier in Tokio wilde houden. De verplaatsing zou te lang duren. Nikon ontkende deze gang van zaken en ziet zich daarin gesteund door analisten. De levering zou dus nog steeds op de agenda staan. Het blijft onbekend op welke termijn dat zou gebeuren.
Intel is niet de enige EUV-klant die zich bij Nikon heeft gemeld. De eerste machine gaat binnenkort op transport naar Selete, een Japans R&D-consortium. De installatie duurt ruim een jaar. Daarmee heeft ASML een flinke voorsprong op zijn directe concurrent. De Veldhovenaren hebben al werkende EUV-machines staan in de cleanrooms van Imec en het College of Nanoscale Science and Engineering (CNSE) van de University at Albany.
This article is exclusively available to premium members of Bits&Chips. Already a premium member? Please log in. Not yet a premium member? Become one for just €20 for the first year and enjoy all the benefits.
