Demcon herontwerpt cruciale module Mapper-machine

Het Oldenzaalse Demcon heeft van Mapper Lithography een order ontvangen voor het herontwerp en de upgrading van het Wafer Positioning System. Komend voorjaar moeten vier productierijpe modules in Delft worden afgeleverd. ’Dat is voor ons een hele uitdaging‘, zegt Demcon-projectleider Jan Diever. Zijn bedrijf mobiliseert daarom een groot aantal Twentse toeleveranciers voor de productie van onderdelen.

Mapper, een spin-off van de TU Delft, ontwikkelt een lithografietechnologie die met parallelle elektronenbundels werkt in plaats van met licht. De eerste testmachines staan bij klanten in Frankrijk en Taiwan en binnen afzienbare tijd wil Mapper met commerciële systemen op de markt verschijnen.

Een cruciale module van de Mapper-machine is het Wafer Positioning System (WPS), dat de wafers met extreme nauwkeurigheid in de elektronenbundel moet positioneren. Demcon was al langer betrokken bij de ontwikkeling en productie van deze module. De Oldenzalers investeerden er zelfs voor in een cleanroom. Nu is het tijd voor een upgrade naar productiemachines. Mapper nam Demcon in de arm om het WPS te herontwerpen, voor een hogere doorvoersnelheid van de wafers en voor een beweging in twee richtingen.