Mapper leent 5 miljoen van EZ

Senternovem heeft Mapper een lening toegewezen van vijf miljoen euro. Het zogenaamde Innovatiekrediet is bedoeld voor de ontwikkeling van een product waaraan nog aanzienlijke technische risico‘s kleven. De rente- en risicodragende lening komt in fases beschikbaar, afhankelijk van de tussentijdse resultaten.

De machinebouwer zal het geld goed kunnen gebruiken nu de banken op hun geld gaan zitten. Mapper verbrandt jaarlijks vele miljoenen onderzoekseuro‘s om een machine te ontwikkelen voor elektronenbundellithografie. Deze chipdruktechniek heeft geen dure maskers nodig. Dat is geen onaanzienlijk voordeel, aangezien die steeds duurder worden naarmate de afgebeelde structuren kleiner worden.

Nadeel van elektronenbundellitho is dat de doorvoer aanzienlijk lager is dan bij optische technieken. Mapper mikt op tien wafers per uur met een machine die 13 duizend parallelle bundels herbergt. Deze is bij het 22-nanometerknooppunt klaar, beloven de Delftenaren.