Mesa+-onderzoeker Muharrem Bayraktar van de vakgroep XUV Optics krijgt van NanonextNL honderdduizend euro subsidie om een eerder ontwikkelde euv-sensor een upgrade te geven. De nieuwe versie meet tegelijkertijd zowel straling van de juiste golflengte als ‘bijvangst’ die het productieproces in euv-scanners nadelig kan beïnvloeden. De detector helpt dan ook om euv-bronnen in deze machines te optimaliseren.
Eerder ontwikkelde de XUV Optics-groep al een compacte euv-sensor die de facto de standaard is geworden om euv-bronnen met elkaar te vergelijken. Deze reisde dan ook de hele wereld rond, wat hem de bijnaam Flying Circus opleverde. Zijn opvolger moet net zo handzaam op kofferformaat worden gemaakt. Daar is de subsidie voor bedoeld, want het werkingsprincipe is al aangetoond – onder meer in de laboratoria van ASML, meldt UT Nieuws.
This article is exclusively available to premium members of Bits&Chips. Already a premium member? Please log in. Not yet a premium member? Become one for just €20 for the first year and enjoy all the benefits.
