TSMC heeft nog geen beslissing genomen over de insertie van euv in zijn productieproces. Dat zei co-ceo Mark Liu deze maand op een conferentie in Taiwan, meldt EE Times. Hoewel de foundry al is begonnen zijn 5-nanometerproces in de steigers te zetten, is nog niet duidelijk of euv daarin een rol zal spelen. Voor de 10- en 7-nanometernode, waarvan productie respectievelijk rond deze tijd en eind 2017 wordt opgestart, was al bekend dat TSMC uitsluitend op immersielithografie blijft vertrouwen, in ieder bij aanvang van productie.
This article is exclusively available to premium members of Bits&Chips. Already a premium member? Please log in. Not yet a premium member? Become one for just €20 for the first year and enjoy all the benefits.
