In het Delftse TNO Nanolab NL is de eerste Orion Plus-heliumionenmicroscoop van Europa geïnstalleerd. Het apparaat van Carl Zeiss SMT haalt een resolutie van 0,25 nanometer. TNO stelt de microscoop binnen het Nanolab-initiatief van Nanoned beschikbaar aan Nederlandse wetenschappers en onderzoekers. Bovendien komt er een gezamenlijk onderzoek van TNO en Carl Zeiss om de scanning helium ion microscope (SHIM) te perfectioneren.
De Orion Plus breidt het domein van de huidige scanningelektronmicroscopen (Sem) uit tot nanometerstructuren en kleiner. Bij Sem bestaat de primaire bundel uit elektronen. Op nanometerschaal wordt deze bundel echter wazig doordat hij wordt ’uitgesmeerd‘ over het oppervlak. De nieuwe microscooptechniek van TNO en Carl Zeiss werkt met heliumionen. Die zijn veel zwaarder en verspreiden zich daardoor niet zo snel. Dat maakt scherpere beelden mogelijk en geeft gedetailleerde informatie over de samenstelling van de bovenste laag van het monster.
De informatie van de SHIM is interessant voor de materiaalwetenschap en de halfgeleiderindustrie. Voor de productie van geïntegreerde schakelingen en chips is het bijvoorbeeld van belang om nauwkeurig de afmetingen en vorm van de geschreven structuur te kunnen bepalen. Een Sem kan de 45 nm-structuren niet voldoende nauwkeurig afbeelden maar de SHIM wel. Hij kan dat ook bij tenminste de drie komende generaties.
This article is exclusively available to premium members of Bits&Chips. Already a premium member? Please log in. Not yet a premium member? Become one for just €20 for the first year and enjoy all the benefits.
